Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции
Поут Дж. и др.
Коллективная монография (США и Нидерланды), посвященная явлениям переноса вещества в тонких пленках и процессам физико-химического
взаимодействия металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок.
Рассмотрен широкий круг вопросов: проблемы твердотельной микроэлектроники, металлофизика и металлохимия границ раздела, методы получения и исследования тонких пленок, явления на границах зерен, реакции и взаимопроникновения в слоистых структурах, электрические характеристики границ раздела, имплантационная металлургия.
Для научных работников (физиков, химиков) и инженеров, занимающихся физикой полупроводников, микроэлектроникой, созданием полупроводниковых приборов, катализом, коррозией.
взаимодействия металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок.
Рассмотрен широкий круг вопросов: проблемы твердотельной микроэлектроники, металлофизика и металлохимия границ раздела, методы получения и исследования тонких пленок, явления на границах зерен, реакции и взаимопроникновения в слоистых структурах, электрические характеристики границ раздела, имплантационная металлургия.
Для научных работников (физиков, химиков) и инженеров, занимающихся физикой полупроводников, микроэлектроникой, созданием полупроводниковых приборов, катализом, коррозией.
Տարի:
1982
Լեզու:
russian
Ֆայլ:
DJVU, 7.63 MB
IPFS:
,
russian, 1982